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合作伙伴：安徽某半导体材料厂

仪器类型：气质联用仪 ，离子色谱

品牌：安捷伦&苍产蝉辫;赛默飞

型号： 7890A-5975C 

2025年01月11日， 安徽某半导体材料厂购买我司1，安捷伦气质联用仪（GCMS） 7890A-5975C ＋吹扫捕集 ； 2，赛默飞（戴安）离子色谱 （阴阳离子各一套）安装培训调试完毕，感谢客户的支持与认可

使用安捷伦气质联用仪骋颁惭厂7890础-5975颁配合吹扫捕集来分析半导体材料，整体来说是比较合适的，以下是具体分析：

仪器性能优势

高灵敏度：5975颁质谱检测器具有高灵敏度，能够检测飞摩尔级别的化合物。这对于半导体材料中痕量杂质的检测非常重要，因为这些杂质虽然含量很低，但可能会对半导体器件的性能产生重大影响。

高分辨率与宽质量范围：5975颁提供高分辨能力，确保复杂样品中化合物的准确识别，其质量数范围为1.6-1050补尘耻。半导体材料的成分复杂，不同的元素和化合物可能会在相近的质量数下出现，高分辨率有助于将它们区分开来，从而准确地进行定性和定量分析。

快速扫描速率：扫描速率可达12500 amu/秒，适合快速分析和瞬态信号的捕捉。在半导体材料的生产过程中，需要快速得到分析结果以便及时调整工艺参数，该仪器的快速扫描速率能够满足这一需求。

电子气路控制：7890A GC采用的EPC技术，提供准确的气路压力控制，提高保留时间性。这有助于获得更稳定、可重复的色谱分离效果，对于半导体材料这类需要严格质量控制的样品分析至关重要。

吹扫捕集的应用优势

适用于挥发性有机物分析：吹扫捕集是一种常用的样品前处理技术，特别适合于挥发性有机物的富集和分析。半导体材料在生产过程中可能会使用到各种有机溶剂，或者在材料表面残留有挥发性有机杂质，通过吹扫捕集可以将这些挥发性有机物有效地富集起来，然后进行后续的气质联用分析。

无需溶剂萃取：与传统的溶剂萃取等前处理方法相比，吹扫捕集无需使用有机溶剂，避免了溶剂带来的干扰和污染。这对于半导体材料的分析尤为重要，因为任何额外的杂质都可能影响分析结果的准确性。

自动化程度高：吹扫捕集装置可以与骋颁惭厂7890础-5975颁实现自动化连接和控制，减少了人工操作的误差，提高了分析效率。在半导体材料的批量检测中，自动化程度高的前处理方法可以大大提高工作效率，确保分析结果的一致性。

使用赛默飞（戴安）阴阳离子离子色谱仪分析半导体材料具有多方面的优势，

高效高容量色谱柱：赛默飞自主研发和生产的高效高容量离子色谱柱，可满足各种分析条件下相关组分的分离要求，具有柱效高、柱容量大的特点，能改善弱保留组分分离，对于高基浓度的样品中痕量组分分离优势突出，且可百分兼容反相有机溶剂，适应辫贬范围0-14，使用寿命是普通分析柱的2-4倍。

在线电解淋洗液发生器：如RFC-30在线电解淋洗液发生器，可提供用于阴离子分离的KOH（NaOH，LiOH，或CO3??/HCO??）以及阳离子分离的MSA淋洗液，浓度范围0.1-100 mM，泵只通过高纯去离子水，可延长泵及密封圈的使用寿命，采用变色龙软件控制及诊断错误。

自动电解连续再生微膜抑制器：使用该抑制器无需配制再生液，可实现连续自动再生功能，兼容梯度淋洗，改善基线漂移，且抑制器死体积小，柱后死体积小，峰型更加尖锐，无论标准溶液还是样品，均采用同一抑制器，重现性结果非常稳定，无硫酸残留问题，适合痕量样品的分析。

变色龙软件：变色龙（颁丑谤辞尘别濒别辞苍?）软件可为离子色谱提供智能操作与数据处理平台，不仅可实现对仪器的实时操作与监控，还能快速便捷地协助用户完成从进样到数据处理的整个过程。

半导体材料分析应用

痕量无机阴阳离子检测：赛默飞不断开发各类半导体材料中痕量无机阴离子、阳离子和金属离子的检测方案，为半导体集成电路制造行业提供多种解决方案，在晶圆表面清洗化学品、晶圆制程化学品等的检测中发挥重要作用。

多种样品分析：离子色谱法可同时检测样品中的多种成分，对于半导体材料及其生产过程中的各种样品，如生产用水、高纯试剂等，能够快速、准确地分析其中的阴阳离子含量，从而保证产物的品质和性能。

综合分析能力

多种进样方式选择：骋颁惭厂7890础-5975颁除了支持吹扫捕集进样外，还具有分流/不分流进样、填充柱进样、冷柱头进样等多种进样方式。这意味着可以根据不同的半导体材料样品和分析需求，灵活选择最合适的进样方法，进一步提高分析的准确性和可靠性。

强大的数据处理系统：该仪器的数据处理系统功能强大，具有监控和智能诊断功能，能够进行手动/自动调谐、数据采集、数据检索、分析结果报告、定量分析及谱库检索等多种操作。在分析半导体材料时，可以通过这些功能对大量的分析数据进行快速、准确的处理和解读，为半导体材料的质量控制和研发提供有力的数据支持。